金属氧化物传感器（包括AL2O3传感器），用于工业过程控制中的低露点测量。此种测量法在正确使用时可以测得很低的露点，其缺点是长期稳定性差。由于测湿敏元件本身造成的漂移，使得频繁的标定工作必不可少，而且传感器不能在线标定，大多数情况下要送到原厂标定，露点仪，且标定成本较高。这将会影响日后的准确测量、正常生产，露点仪功能，增大了维护工作量。金属氧化物传感器在高湿或冷凝的情况下一旦受损，其功能将无法恢复。
注意事项
露点测试仪，要特别注意以下几点：（1）禁止在危险地区开关仪器电源！（2）禁止在危险区域内充电！（3）仪器在运输过程或测试过程中防止碰撞挤压及剧烈震动；（4）在测量过程中，流量调节针形阀应慢慢打开，防止压力突变，以免压力传感器和流量传感器被损坏；测量气体SF6流量应该调节在0.5～0.9L/min，H2调节在0.1～0.4 L/min，维萨拉手持式露点仪DM70，这样既能快速测量，又能节省气体。（5）仪器在使用过程中，维萨拉手持式露点仪，当电量指示不足时，应及时充电，充电时只需将电源线接入220V电源，不需打开仪器电源开关，仪器自动充电，充电时指示灯为红色的，充电完成后充电指示灯为绿色；（6）仪器一定要充足电存放，长时间不用，要经常查看电量是否充足。
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